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光栅式角位移传感器的工作原理、光路系统、电路及设计与线位移式基本相同(见 1. 8)

2025年09月03日 14:01:10      来源:深圳市新世联科技有限公司 >> 进入该公司展台      阅读量:9

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以下是引用片段:

工作原理 光栅式角位移传感器的工作原理、光路系统、电路及设计与线位移式基本相见 1. 8 。所不同的是将长光栅换成圆栅。其结构原理如图3.6 . 1 所示。由图可知,在整圆玻璃板上刻有10800条线,格值2,任意两条刻线间误差不超过2。长度刻线不小于6mm,即在φ86φ74两圆之间应布满刻线。刻线中直径φ80的中心与孔φ42的中心之间的偏心不超过0.05mm。在φ90.5处刻一基准圆。

圆光栅的刻线方向有径向和切向两种,分别称为径向光栅和切向光栅,如图3.6.2所示。


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