光栅式角位移传感器的工作原理、光路系统、电路及设计与线位移式基本相同
2025年09月03日 15:08:14
来源:深圳市新世联科技有限公司 >> 进入该公司展台
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以下是引用片段:
工作原理 光栅式角位移传感器的工作原理、光路系统、电路及设计与线位移式基本相同(见~ 1. 8) 。所不同的是将长光栅换成圆光栅。其结构原理如图3.6 . 1 所示。由图可知,在整圆玻璃板上刻有10800 条线,格值2' , 任意两条刻线间误差不超过2” 。长度刻线不小于6mm,即在φ86一φ74两圆周之间应 布满刻线。刻线中直径φ80 的中心与孔φ42 的中心之间的偏心不超过0.05mm 。在φ90.5处刻一基准圆。
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