半导体应变片虽具有体积小、灵敏度高等优点，但其温度系数太大，且应变时非线性严

重。随着新材料、新工艺的发展，人们选用晶体(硅、错、蓝宝石、石英等)材料，采用微

电子技术和微细加工技术研制出了新型的半导体应变式传感器一一压阻式传感器. 这种传感器
测量精度高， 工作可靠，工作温度范围宽，容易实现数字化，比普通应变式传感器体积小而
输出信号大，并且克服了半导体应变片存在的问题，又能将电阻条、补偿线路、信号转换电路
集成在一块硅片上，甚至将计算处理电路与传感器集成在一起， 因此得到了广泛的应用，是
一种具有发展前途的传感器。

    2. 5.1 压阻式传感榻的结构与工作原理

    压阻式传感器是用集成电路工艺技术，在硅片上制造出四个等值的薄膜电阻，并组成电

桥电路。当不受力作用时，电桥处于平衡状态，无电压输出z 当受到力作用时，电桥失去平……

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