2.4 压阻传感器的应用

1.压阻式压力传感器

    压力传感器主要由三部分组成：感压部分，直接承受被测应力；转换部分，
将待测应力转 换为电信号;激励部分，外加的激励电源，在硅弹性膜片上,用半
导体器件制造技术在确定 晶向上制作相同的四个感压电阻,将它们连接成惠斯登
电桥，接上外加电源，就构成了基本 的压力传感器。

图2 - 37所示为硅压阻式压力传感器结构图，主要由外壳、硅膜片及引线等绀成，
其核心部分是一块圆形膜片，在膜片上利用集成电路的成形工艺方法设置了四个
阻值相同的电阻,构成平衡电桥的四个桥臂。膜片的四周用一圆环(硅环)固定，如
图2-38所示。膜片的 两边有两个压力腔：一个是和被测系统相连接的高压腔；另
一个是低压腔,通常与大气相通。

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