以下是引用片段:
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除了上述的电阻控制型半导体气敏器件,目前还有一种非电阻控制型半导 体气敏器件。 这类器件虽然还未广泛应用,但由于可以利用半导体平面 工艺,能做出小型、集成化、重复性、互换性和稳定性都很好的半导体气 敏器件,受到日益里视。 1. 二极管气敏器件 当金属和半导体接触形成肖特基势垒时构成金属半导体二极管。在这种金属 半导体二 极管附加正偏压时,从半导体流向金属的电子流将增加;如釆附加 负偏压时,从金属流向半 导体的电子流几乎没有变化,这种现象称为二极管 的整流作用。如果在二极管的金属与半 导体的界面吸附有气体且这种气体 对半导体的禁带宽度有影响,则二极管的整流特性就会 发生变化,根据这个原理 就可以制作气敏传感器。 |