放出气体量
| 型号 | 放出气体量Q(排气40分钟后) |
| (Torr·ℓ/s/unit) | (Pa·ℓ/s/unit) |
| TSDS-602S | 3.57×10-5 | 4.76×10-3 |
| TSDS-603 | 1.65×10-5 | 2.20×10-3 |
评价装置的技术指标
排气装置 :
涡轮分子泵 STP-301
EDWARDS会社
排气速度: 300ℓ/sec
质量分析装置 :
四极质谱分析仪 QME200
PFEIFFER社制造
测量范围: 1 - 200amu
真空腔内的真空度

质谱峰的解释
利用质谱测定残留气体时,各分子量处出现的峰值到底是怎样的气体,其主要成分的一览表及其解释如下。
残留气体谱线一览表