技术指标的定义
技术指标
4
行程
以产品的中心的位置（上板和下板在同一位置的情况下）作为基准点，用正，负表示。（在产品目录中有外形图的情况下，以外形图为基准，往一个方向移动为正几毫米，往相反方向移动为负几毫米）
上述的标准不能作为基准的情况下，用整个行程表示。
有粗调，微调的情况下，分别表示它们的行程。
5
导轨形式
TSD导轨
十字交叉滚柱导轨
燕尾槽导轨
螺杆驱动方式
滑动导轨
V型导轨
※也有左侧以外的特殊导轨，请参照各自的产品目录。
6
主要材料
表面处理
表示产品的主要材料成分和表面处理
7
行程/每转
表示操作部分（微分头或精密调节螺杆）旋转一圈时的读数
8
微分头的操作位置
面对平台时微分头的安装方向，用中心或者侧面来表示。
9
承载能力
通常表示在平台处可搭载的均布载荷。（静负载）
※超出额定承载能力使用时，请咨询。
10
移动精度：直线度
（单位：µｍ）
平台在整个行程范围内，以起点到终点的直线为基准，表示了偏离此基准线的范围。
11
移动精度：俯仰
从起点到终点的整个行程范围内，相对于运动方向的前后方向上的角度变化。
12
移动精度：偏摆
: 转动
从起点到终点的整个行程范围内，相对于运动方向的左右方向上的角度变化。
从起点到终点的整个行程范围内，绕运动轴方向的旋转角度变化。
13
承载力矩
（单位：N⋅ｍ）
当平台中心与载荷中心发生偏离时，平台可承受的力矩。
14
扭矩刚度
（单位："/N⋅cｍ）
是指在偏离台面中心的位置上施加载荷时（即台面中心和载荷中心不一致。）的平台的刚度。通常是指，距离台面中心1cm的位置上加载1N的负载时，台面发生的倾斜角度（单位：秒）。
16
移动平行度
在整个行程范围内，平台上面相对于平台下面的平行度。
技术指标中的专业术语
直线度（水平方向） [单位: µm]
按从起点到终点（全行程）的方向，依次进行定位，在各位置的水平方向上，测出实际位置和水平位置的差。起点与终点的偏差修正为0后的值（差）为水平方向的直线度。
直线度（垂直方向） [单位: µm]
按从起点到终点（全行程）的方向，依次进行定位，在各位置的垂直方向，测出实际位置和垂直位置的差。起点与终点的偏差修正为0后的值（差）为垂直方向的直线度。
俯仰 [单位: ”]
按从起点到终点（全行程）的某一方向，依次进行定位，在各位置对垂直方向的倾斜角度进行测量。定义其角度差为俯仰角度误差。
偏摆 [单位: ”]
按从起点到终点（全行程）的某一方向，依次进行定位，在各位置上，测量相对水平方向的左右摆动角度。定义其角度差为左右摆动误差。
平行度 [単位: µm]
将固定在平板上的百分表打在平台的上，移动整个平台，进行测量。百分表显示的值为平行度。
移动平行度 [单位: µm]
将平台等固定在平板上。将固定在平台上的百分表的表头打在基准平面上，全行程移动，进行测量。百分表显示的值为移动平行度。
同心度 [单位: µm]
将旋转平台固定在平板上，将百分表放在旋转平台的外周侧面，使其旋转1周（360°整周），进行测量。百分表显示的值的一半（偏离中心位置）为同心度。
端面跳动 [单位: µm]
将固定在平板上的百分表打在旋转平台的上端边缘，使其旋转1周（360°整周），进行测量。百分表显示的值为端面跳动。
