现场安装了高效过滤器后，泄漏检测是为了确认高效过滤器和配套的安装静压箱，在规定的允许范围内未发现泄漏或痕量泄漏。如果高效过滤装置在检漏后合格，则可以确保洁净室的安全可靠运行。在这种情况下，室内清洁度仍未达到标准，应从无尘室的其他方面找出原因。

　　安装后对高效过滤器的泄漏检测与工厂中过滤器制造商的效率测试不同。后者仅测试过滤器的效率和其他相关性能，而前者涉及高效过滤器的泄漏以及与安装过程相关的各种因素。

　　在检漏期间，从高效过滤器的上风侧引入气雾剂，同时，在高效过滤器的下风侧进行扫描以进行泄漏检测，以泄漏高效过滤器介质过滤器，密封剂过滤器框架，密封垫等。是否有泄漏。

　　在检测中，如果室内干扰因素过多，为了消除干扰，可以在出风口出风口增设一个隔离罩，并在罩内进行检测，以使检测数据更加准确。 特别要注意的是，过滤器和安装框架之间的泄漏检测可以沿着安装框架进行，也可以在出风箱的部分进行泄漏检测，但是应消除夹带气流的干扰，并且应该避免使用盒子。

　　灰尘堆积在上表面的干扰，特别是采样端口不能接触高效风口盒或过滤器的框架。 在高效过滤器的上风侧进行DOP泄漏检测时，必须在高效过滤器的上风侧安装DOP导入装置和浓度检测管。这两个管也可用于检测滤波器的电阻。

　　概论：

　　(1)高效过滤器安装以后必须要进行检漏;

　　(2)要计算 DOP 的发尘量及系统风量，确定DOP 导入地点;

　　(3)要测量高效过滤器上游的粒子浓度;

　　(4)根据规范按 0.5μm 的粒径来检漏，需要确定正确的K值。如果采用不是0.5μm的粒径来检漏，建议可按 ISO14644-3 的标准来确定 K 值;

　　(5)采用 28.3 L/min 的粒子计数器来检漏。如果采用 2.83 L/min 的粒子计数器，必须控制扫描速度。