〖技术资料〗中国实验室用水国家标准与国家超纯水标准
2025年10月10日 10:06:56
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中国电子行业超纯水国家标准GB/T1146.1-1997 |
级别 指标 | EW-I | EW-II | 电阻率MΩ.cm（25℃） | 18以上（95%时间）不低于17 | 15（95%时间）不低于13 | 硅≤µg/l | 2 | 10 | >1µM微粒数≤个/ml | 0.1 | 5 | 细菌个数≤个/ml | 0.01 | 0.1 | 铜≤µg/l | 0.2 | 1 | 锌≤µg/l | 0.2 | 1 | 镍≤µg/l | 0.1 | 1 | 钠≤µg/l | 0.5 | 2 | 钾≤µg/l | 0.5 | 2 | 氯≤µg/l | 1 | 1 | 硝酸根≤µg/l | 1 | 1 | 磷酸根≤µg/l | 1 | 1 | 硫酸根≤µg/l | 1 | 1 | 总有机碳≤µg/l | 20 | 100 |
中国电子行业超纯水国家标准 |
中国实验室用水国家标准GB6682-2000 |
名 称 | 一 级 | 二 级 | 三 级 | PH值范围（25℃） | - | - | 5.0-7.5 | 电导率（25℃）,mS/m ≤ | 0.01 | 0.10 | 0.50 | 比电阻（MΩ.cm.25℃）≥ | 10 | 1 | 0.2 | 可氧化物质[以（0）计]，mg/L | - | 0.08 | 0.40 | < 吸光度（254nm,1cm 光程）≤ | 0.001 | 0.01 | - | 蒸发残渣（105±2℃），mg/L≤ | - | 1.0 | 2.0 | 可容性硅[以（sio2）计]，mg/L< | 0.01 | 0.02 | - |
中国实验室用水国家标准 |
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