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超纯水百科

2025年10月12日 11:54:09      来源:莱特莱德(大连)环境技术股份有限公司 >> 进入该公司展台      阅读量:3

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超纯水
纯度的水。集成电路工业中用于半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制备和硅片氧化用的水汽源等。此外,其他固态电子器件、厚膜和薄膜电路、印刷电路、真空管等的制作也都要使用超纯水。
简介
超纯水:既将水中的导电介质几乎去除,又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水。电阻率大于18MΩ*cm,或接近18.3MΩ*cm极限值。
超纯水,是一般工艺很难达到的程度,采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理四大步骤,多级过滤、高性能离子交换单元、超滤过滤器、紫外灯、除TOC装置等多种处理方法,电阻率方可达18.25MΩ*cm
超纯水是美国科技界为了研制超纯材料(半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等)应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术生产出来的水,这种水中除了水分子(H20)外,几乎没有什么杂质,更没有细菌、病毒、含氯二恶英等有机物,当然也没有人体所需的矿物质微量元素,一般不可直接饮用,对身体有害,会析出人体中很多离子。
工艺流程超纯水,目前的主要工艺流程

  1.预处理----复床 ----混床---抛光树脂
  2.预处理----反渗透---混床---抛光树脂
  3.预处理----反渗透----CEDI膜块----抛光树脂
中国国家实验室分析用水标准大连超纯水设备,大连纯水设备
中国国家实验室分析用水标准(GB6682-92)《分析实验室用水规格和实验方法》:
  指标名称 一级水 二级水 三级水
  1级水>10MΩ;2级水>1MΩ;3级水>0.2MΩ
  PH值范围(25℃) - - - - 5.0-7.5
  比电阻
MΩ.cm@25℃> 10 1 0.2
  电导率(25℃)us/cm≤ 0.1 1 5
  可氧化物[以O计]mg/L -- 0.08 0.40
  吸光度(254nm,1cm光程)≤ 0.001 0.01 --
  二氧化硅(mg/L) 0.02 0.05 --
  蒸发残渣(mg/L) -- 1.0 2.0
区别
纯水,高纯水,超纯水的区别

纯水
   纯水是指既将水中易去除的强电介质去除,又将水中难以除去的硅
OKP超纯水
酸及二氧化碳等弱电解质去除至一定程度的水。纯水的含盐量在1.0mg/L以下,电导率小于50μs/cm。
高纯水
   高纯水是指将水中的导电介质几乎全部去除,又将水中不离解的胶体物质、气体和有机物均去除至很低程度的水。高纯水的含盐量在0. 3mg/L以下,电导率小于0. 2μs/cm。 大连超纯水设备,大连纯水设备
超纯水  
纯度的水。集成电路工业中用于半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制备和硅片氧化用的水汽源等。此外,其他固态电子器件、厚膜和薄膜电路、印刷电路、真空管等的制作也都要使用超纯水。超纯水是指下列杂质含量极低的水:①无机电离杂质,如 Ca、Mg、Na、K、Fe、Fe、Mn、Al、HCO婣、CO婣、SO嬄、Cl、NO娱、NO婣、SiO婣、PO等;②有机物,如烷基苯磺酸、油、有机铁、有机铝以及其他碳氢化合物等;③颗粒,如尘埃、氧化铁、铝、胶体硅等;④微生物,如细菌、浮游生物和藻类等;⑤溶解气体, 如N2、O2、CO2、H2S等。超纯水中电离杂质的含量用水的电阻率数值来衡量。理论上,纯水中只有H离子和OH离子参加导电。在25℃时超纯水的电阻率为 18.3(兆欧·厘米),一般约为15~18(兆欧·厘米)。
  超纯水中有机物含量由测定有机物碳含量而定,电子工业超纯水中规定含量为50~200微克/升,并要求直径大于1微米的颗粒性物质每1毫升内含量为1~2个,微生物每1毫升为0~10个。现代采用预处理、电渗析、紫外线杀菌、反渗透、离子交换、超滤和各种膜过滤技术等,使超纯水的电阻率在25℃时达到18(兆欧·厘米)。

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