臭氧发生器按照原理分为电晕放电式臭氧发生器、点解式臭氧发生器、紫外照射式臭氧发生器、核辐射式臭氧发生器。其中广泛的是电晕放电式臭氧发生器。电晕放电式臭氧发生器按制造材料分为玻璃臭氧发生器、陶瓷臭氧发生器等。它的特点是介质于电极于一体结构紧凑，机械强度高，臭氧产率大等特点，是高档臭氧设备中较为优良的材料。臭氧发生器按运行频率可分为工频臭氧发生器、中频臭氧发生器和高频臭氧发生器。其中高频臭氧发生器运行效率高、节约电能。臭氧发生器按照臭氧发生量分为：小型臭氧发生器、中型臭氧发生器和大型臭氧发生器。臭氧发生器按冷却方式可分为风冷式臭氧发生器、油冷式臭氧发生器、小型低浓度臭氧发生器通常采用风冷，大中型臭氧发生器基本采用水冷，臭氧浓度高的发生器采用双极冷却。臭氧发生器按结构形式可分为立式臭氧发生器、卧式臭氧发生器。