由ICP-MS得到的质谱图，横座标为离子的质荷比，纵座标为计数。根据离子的质荷比可以确定存在什么元素，根据某一质荷比下的计数，可以进行定量分析。

ICP-MS定性和半定量分析　

　判断一个样品中是否含有某种元素，不能只看该元素对应的质荷比的离子有没有计数，因为存在着各种干扰因素和仪器的背景计数。例如，测定污水中是否含pb，如果只依靠样品与去离子水比较，那么，对样品的测试只能得到pb的计数，不能得到大致含量，当计数较低时，甚至有没有pb也难确定。因此，为了有明确的结果，可以使定性和半定量同时进行，方法如下：将一定含量的多元素标样在一定分析条件下进行测定，此时可得各元素计数。同样条件下测定待测样品，得到未知元素计数。根据标样测定的计数与浓度的关系，仪器可以自动给出未知样品中各元素的含量。这种方法可以理解为单点标准曲线法。这种方法没有考虑各种干扰元素，因而存在较大的测定误差，因此是半定量分析。　

ICP-MS定量分析　

与其它定量方法相似，ICP-MS定量分析通常采用标准曲线法。配制一系列标准溶液，由得到的标准曲线求出待测组成的含量，为了定量分析的准确可靠，要设法消除定量分析中的干扰因素，这些干扰因素包括：酸的影响，氧化物和氢氧化物的影响，同位素影响，复合离子影响和双电荷离子影响等。

样品中酸的影响，当样品溶液中含有硝酸,磷酸和硫酸时,可能会生成N2+、ArN+、PO+、P2+、ArP+、SO+、S2+、SO2+、ArS+、ClO+、ArCl+、等离子，这些离子对Si、Fe、Ti、Ni、Ga、Zn、Ge、V、Cr、As、Se的测定产生干扰。遇到这种情况的干扰，可以通过选用被分析物的另一种同位素离子得到消除，同时要尽量避免使用高浓度酸，并且尽量使用硝酸，可减少酸的影响。

氧化物和氢氧化物影响

在ICP中，金属元素的氧化物是可以离解的，但在取样锥孔附近，由于温度稍低，停留时间长，于是又提供了重新氧化的机会。氧化物的存在，会使原子离子减少,因而使测定值偏低，可以利用Ce+和CeO+强度之比来估计氧化物的影响,通过调节取样锥位置来减少氧化物的影响。同时，氧化物和氢氧化物的存在还会干扰其它离子的测定，例如40ArO和40CaO会干扰56Fe，46CaOH会干扰63Cu,42CaO会干扰58Ni等，因此，定量分析时要选择不被干扰的同位素。

同位素干扰：常见的干扰有40Ar+干扰40Ca+，58Fe干扰58Ni，113In干扰113Cd+等，选择同位素时要尽量避开同位素的干扰。

其它方面干扰：主要有复合离子干扰和双电荷离子干扰等。复合离子包括有：40ArH+，40ArO+等。对于第二电离电位较低的元素，双电荷离子的存在也会影响测定值的可靠性，可以通过调节载气和辅助气流量，使双电荷离子的水平降低。

ICP-MS对整个周期表上的元素有比较均匀的灵敏度，因而，对大多数元素，其检测限是比较一致的，仪器的随机本底大约为10-20计数/s，以产生三倍空白响应的信号所对应的浓度表示检测限，大多数元素的检测限大约为0.03ng/ml。　　ICP-MS具有灵敏度高，多元素定性定量同时进行等优点，因而，广泛应用于水分析，血液中微量元素分析，食品分析及同位素比测定等。