华测仪器 电学性能测试 简易探针台的系统附件及其参数说明

产品简介：

光电测试简易探针台由华测仪器生产，主要用于电学性能测试，该探针台具有灵活性、低成本的特点，结构紧凑、性价比高、稳定性强、具备模块化和可扩展性，主要应用于半导体器件研究、光电子与显示技术以及工业与工程应用，能够帮助在测试试验中的效率提升、质量控制与可靠性的验证、为试验人员提供实验依据、优化成本与节约资源。

系统配件具体参数说明：

Huace 系列简易探针台提供 Huace-M4 与 Huace-M6 两款型号，分别适配 4 英寸和 6 英寸尺寸的样品测试需求。

台体支持 360° 水平旋转，且可进行 15° 微调，角度精度达 0.1°，配备角度锁死装置保障测试稳定性；X-Y 轴移动行程为 2 英寸 ×3 英寸，移动精度可达 10μm，样品采用真空吸附方式固定，搭配多圈吸附环确保固定牢固。设备左右各设一个针座平台，可放置 6 个探针座，同时样品台采用电学悬空设计，通过 4mm 插孔可接入背电极，满足背电极测试需求。

显微镜配置灵活，可选单筒显微镜或体式显微镜，放大倍率覆盖 16X-200X，水平方向可绕立柱 360° 旋转，Z 轴移动行程为 50.8mm；配备外置 LED 环形光源，支持无级调节亮度，CCD 可选 200 万像素、500 万像素或 1200 万像素，为试验观测提供清晰视野。

探针座采用 X-Y-Z 三轴移动设计，移动行程均为 12mm×12mm×12mm，移动精度可选 10μm、2μm、0.7μm 或 0.5μm，吸附方式支持磁力吸附或真空吸附；探针夹具配套同轴线或三轴线缆，漏电精度可达到 10pA、100fA 或 10fA 等级，探针固定方式有弹簧固定和管状固定两种选择，接头类型涵盖 BNC、三轴、香蕉头、鳄鱼夹及接线端子，适配不同测试连接需求。

探针针尖直径提供 0.2μm、1μm、2μm、5μm、10μm、20μm 多种规格，材质可选钨钢或铍铜；设备整体外形尺寸为 400mm（长）×380mm（宽）×500mm（高），重量约 20kg，兼顾测试性能与便携性。

此外，设备可按照需求选择定制附件，例如加热台、显示器、转接头、射频测试配件、屏蔽箱、光学平台、镀金卡盘、光电测试配件等。

设备应用领域广泛：

01 设备可满足 I-V/C-V、PIV 测试、光电测试等多种测试需求，适配 6 英寸以内的样品测试场景。

02 设备采用同轴丝杠传动结构，能够实现终线性移动，同时支持放置于手套箱内使用，适配特殊环境测试需求。

03 该设备整体形状轻巧，操作简单，能够为各类样品测试提供可靠的测试方案，可应用于半导体器件研究、光电子与显示技术、工业与工程应用等领域