华测仪器 6英寸蓝宝石窗口真空探针台的产品参数介绍

产品简介

真空探针台由华测仪器生产，可用于R-T，C-V，I-V，R-I，Cp-D,ε测试，可搭配源表、高阻计、直流低电阻测试仪等不同仪器，以适应多种不同的试验需求，该探针台性能稳定，配备单筒显微镜与保证紫外光透光性的蓝宝石材质观察窗口，外置真空波纹管结构探针臂，具有多种接口，能够为试验人员提供可靠有效的帮助。

产品参数

腔体:高真空腔体

样品台尺寸:4英寸

样品固定:弹簧压片

观察窗口:6英寸

观察窗口材质：蓝宝石（保证紫外光的透光性）

真空度:2Pa

探针臂接口:4个探针臂接口

电学测试接口:3同轴BNC*4、2同轴BNC*2/高压接口10kV*1

辅助接口:真空接口、加热器接口、热电阻接口、液氮接口、保护气接口、表面温度热电阻接口*2

制冷方式:液氮

温度范围:-196℃~600℃

温控精度:±0.1℃

稳定性:-196℃-常温±0.5℃、常温-600℃±0.2℃

产品尺寸:650mm长*650mm宽*460mm高

重量:约100kg

光学系统

显微镜类型:单筒显微镜

放大倍率:20X-180X

移动行程: X轴行程100MM  Y轴行程50MM  Z轴行程50mm

光源:外置LED环形光源

CCD:2800万像素

显示器:10寸LED

探针臂

X-Y-Z移动行程:20mm*20mm*20mm

结构:外置探针臂，真空波纹管结构

移动精度:10微米

探针组件

线缆:同轴线

接头类型:SMA

漏电精度:10fA

固定探针:夹紧固定

频率支持:DC-67GHZ

针尖直径:0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米

高压组件

线缆:高压电缆10kV

接头类型:香蕉头

其他组件

真空组件:机械泵

冷源组件:10L液氮罐

产品特点

01 多种接口

探针臂接口:4个探针臂接口；

电学测试接口:3同轴BNC*4、2同轴BNC*2/高压接口10KV*1；

辅助接口:真空接口、加热器接口、热电阻接口、液氮接口、保护气接口、表面温度热电阻接口*2。

外置探针臂-真空波纹管结构

02 蓝宝石材质观察窗口

蓝宝石材质的观察窗口能够有效保证紫外光的透光性

03 多种可搭配仪器

源表、高阻计、直流低电阻测试仪、阻抗分析仪、半导体参数分析仪

应用领域

R-T，C-V，I-V，R-I，Cp-D,ε测试