基础检漏方法与氦质谱精检

常见检漏方法及其适用场景

气泡法（水检法）：是最原始的检漏方法。向工件充入高压气体后浸入水中，观察气泡产生情况。该方法成本低、操作简单。这种方法能直接定位漏点，但灵敏度较低，通常只能检测到较大漏孔，且结果易受人为观察影响，液体中的杂质也可能堵塞漏孔影响检测结果，液体还可能对某些工件造成腐蚀。

压力衰减法：通过向工件充入加压气体，监测压力下降值判断泄漏。该方法简单、适用性广，但灵敏度相对较低，精度受环境温度变化影响较大，难以发现微小泄漏，常用于对泄漏率要求不严的工件检测。

卤素检漏法：其核心设备是卤素检漏仪，卤素检漏仪是利用卤素气体在高温时会分解产生正离子的性质而制成的检测仪器。检测速度快，但卤素气体可能对环境甚至人体有害。

氦质谱检漏法：高精度检漏的核心技术

在众多检漏方法中，氦质谱检漏法因其超高灵敏度而居于核心地位，成为对密封性有苛刻要求领域的技术。氦质谱检漏法以氦气作为示踪气体。其核心设备是氦质谱检漏仪，它基于质谱学原理工作：质谱检漏仪通过其主要部件质谱室，使不同质量的气体变成离子随后在电场和磁场作用下发生偏转。通过控制电磁场条件，使特定质荷比的氦离子被探测器接收，而其他离子不能进入狭缝而被挡板筛除，使其达不到收集极上去。检漏时，如果用氦气喷吹漏孔，当氦气通过漏孔进入检漏仪，检漏仪中的指示仪表会立即灵敏地反应出来，以达到了检漏的目的。

氦质谱检漏法的灵敏度，可检测到10^{-12} Pa·m³/s乃至10^{-13} Pa·m³/s量级的微小泄漏，比传统方法高出几个数量级。其响应速度快，结果可靠，能精确定量和定位漏孔。因此，它被广泛应用于半导体制造、航空航天、核工业、新能源电池、精密等对密封性有要求的领域。

安徽歌博科技有限公司聚焦氦质谱检漏仪，自动化氦质谱检漏系统研发、生产和销售的企业，具有自主知识产权和持续创新能力，经营业绩稳定增长的高科技公司。高灵敏，超稳定”的氦质谱检漏设备在新能源，汽车，半导体，真空，电力，制冷等行业有广泛的应用。