氦质谱检漏仪-喷吹法

喷吹法检漏系统如下图所示。图中的辅助泵是用来对被检容器进行预抽并当被检容器存在大漏时用来维持检漏仪的工作压力的。检漏时,先用辅助泵将被检容器抽到低真空,然后再关闭辅助阀,打开检漏阀,将被检容器与事先已抽限真空的检漏仪的质谱室相通,并用质谱检漏仪对被检容器进行抽气。当质谱室达到工作压力时,使仪器处于检漏工作状态,然后用仪器所附的喷枪在被检容器可疑漏气部位喷吹氦气,如果有漏,氦气通过漏孔进入被检容器内部并迅速进入到检漏仪,由输出仪表指示出来。输出仪表读数变化的大小可以确定检出漏孔的漏率大小。喷检喷吹的位置可以确定检出漏孔的位置。这是目前使用最多,也是较方便的一种方法。

当被检容器存在大漏时,单用检漏仪来抽被检容器,真空度抽不上去,质谱仪不能工作。此时可打开辅助阀,用辅助泵帮助抽气,以维持质谱仪的正常工作压力。辅助泵打开后,由于辅助泵的分流作用,使检漏灵敏度降低。因此辅助阀的打开程度要尽量小,以能维持检漏仪的工作压力为限。

图1 喷吹法检漏系统  1一检漏仪 2一辅助阀 3一辅助泵  4一被检容器 5一氦气瓶

喷吹时间t与氦分压值QHe/SHe的关系如下:

从这里可以看出,开始增加t的,但t增加到3t以上时效果就不大了,充其量提高5%,而此时检漏效率就大大降低,极不合算,故一般喷吹时间t为3倍反应时间。

喷吹法的在于可以较准确的找到漏孔位置。然而由于其有效灵敏度与喷吹时间有关。喷吹时间越长,有效灵敏度越高,但检漏的效率就大大降低。此外,喷出的氦立即向周围扩散,使漏孔处的氦浓度降低,使有效灵敏度降低。