1、预处理－反渗透－水箱－阳床－阴床－混合床－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－精制混床－精密过滤器－用水对象

2、预处理－一级反渗透－加药机（PH调节）－中间水箱－第二级反渗透－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－0.2或0.5μm精密过滤器－用水对象

3、预处理－反渗透－中间水箱－水泵－EDI装置－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－0.2或0.5μm精密过滤器－用水对象

4、预处理－反渗透－中间水箱－水泵－EDI装置－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－精制混床－0.2或0.5μm精密过滤器－用水对象为满足用户需要，达到符合标准的水质，尽可能地减少各级的污染，在工艺设计上，取达国家自来水标准的水为源水，再设有介质过滤器，活性碳过滤器，精密过滤器等预处理系统、RO反渗透主机系统、离子交换混床系统等。

道 一体式PPF精密滤芯：过滤泥沙、颗粒物

第二道 一体式活性炭滤芯：吸附有机物、余氯

第三道 反渗透膜装置（品牌：陶氏）：步脱盐和去除自来水中的细菌和有机物

第四道 压力纯水桶：存放反渗透纯水，同时提供取水动力

第五道 离子交换柱（品牌：罗门哈斯）：第二步脱盐，电阻达10兆欧以上

第六道 核级超纯化柱：第三步深度脱盐，电阻达18.2兆欧以上

第七道 终端1微米微孔过滤：过滤细小颗粒物质

第八道 超纯水专用0.45+0.2微米孔径终端过滤器（选配）：去除细菌及杂质

其 他 电子元器件等：提供各种控制功能

适合生产半导体、集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各种电子器件等电子工业用超纯水系统。水质可达可达18.3兆欧，符合电子行业生产所需超纯水水质要求。

●电子行业生产如单晶硅、半导体、集成电路块、IC芯片封装、显像管、玻壳、液晶显示器、印刷电路版、光学、

光电、热电厂、冶金、化工、轻工、汽车制造、制药、医疗卫生等制造工业用纯水制造；

●医药行业的大输液、医药制剂、检验分析、血液透析、制药、制剂工艺用水制造；

●涂装行业如电镀、电池生产、电泳漆生产线；汽车、电器、建材产品表面清洗、涂装；玻璃、塑料表面镀膜等；

●化工行业用水制造如化学制药、纺织印染、精细化工、化妆品、墨盒、日化产品等；

●实验超纯水如工厂、大学及公司的生产实验室、化学实验室、物理实验室、中试车间、医院生化室等。

1、节省空间的船坞式水箱内壁光滑，配置复合通气过滤器，可以保证水具有的纯度

2、在循环管路内的UV确保了最小的微生物污染

3、可选择EDI（option-r） 纯化技术

4、高度可调的取水龙头可满足墙面或台面安装的需要在循环保证了出水点的水质

纯度的水。集成电路工业中用于半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制备和硅片氧化用的水汽源等。此外，其他固态电子器件、厚膜和薄膜电路、印刷电路、真空管等的制作也都要使用超纯水。超纯水是指下列杂质含量极低的水：①无机电离杂质,如 Ca、Mg、Na、K、Fe、Fe、Mn、Al、HCO婣、CO婣、SO嬄、Cl、NO娱、NO婣、SiO婣、PO等；②有机物,如烷基苯磺酸、油、有机铁、有机铝以及其他碳氢化合物等；③颗粒,如尘埃、氧化铁、铝、胶体硅等；④微生物,如细菌、浮游生物和藻类等;⑤溶解气体, 如N2、O2、CO2、H2S等。超纯水中电离杂质的含量用水的电阻率数值来衡量。理论上,纯水中只有H离子和OH离子参加导电。在25℃时超纯水的电阻率为 18.3(兆欧·厘米)，一般约为15～18（兆欧·厘米）。

超纯水中有机物含量由测定有机物碳含量而定，电子工业超纯水中规定含量为50～200微克/升,并要求直径大于1微米的颗粒性物质每1毫升内含量为1～2个，微生物每1毫升为0～10个。现代采用预处理、电渗析、紫外线杀菌、反渗透、离子交换、超滤和各种膜过滤技术等，使超纯水的电阻率在25℃时达到18(兆欧·厘米)。

依各种原水水质和用户要求的不同，超纯水的制备工艺大体可分为预超纯水处理、脱盐和精处理三步。

包括砂滤、多介质过滤、软化、加氯、调节pH、活性碳过滤、脱气等。过滤可除去 1～20微米大小的颗粒，软化和调节pH可防止反渗透膜结垢，加氯是杀菌。活性碳过滤是除去有机物和自由氯，脱气是清除溶于水中的CO2等。

包括电渗析、反渗透、离子交换。电渗析的原理是在外加直流电场作用下利用阳离子和阴离子交换膜对离子选择性透过，脱盐率可达95%以上。反渗透是渗透现象的逆过程,在浓溶液上加压力,使溶剂从浓溶液一侧通过半透膜向稀溶液一侧反向渗透，脱盐可达98%，并能除去99%的细菌颗粒和溶解在水中的有机物。离子交换的原理是当水通过阳离子交换树脂时，水中的阳离子被阳离子交换树脂吸附，树脂上可交换的阳离子如H离子被置换到水中，并和水中的阴离子结合成相应的无机酸，如超纯水，这种含有无机酸的水，当下一步通过阴离子交换树脂层时，水中的阴离子被阴离子交换树脂吸附。

树脂上可交换的阴离子如OH离子被置换到水中,并与水中的H离子结合成水，即超纯水精处理 包括紫外线杀菌、终端膜过滤和超滤。紫外线杀菌是因生物体的核酸吸收紫外线光的能量而改变核酸自身结构,破坏核酸功能而使细菌死亡。杀菌的光谱波长为2600埃。各种膜过滤能除掉直径大于 0.2微米的颗粒，但对于清除有机物则不如反渗透和超滤有效。超滤是把各种选择性的分子分离。在超滤过程中，水在压力下流过一个卷式或中空纤维膜棒。膜孔径在10～200埃范围内,薄膜厚度为0.1～0.5微米,附在一个中孔的纤维棒内壁上，超滤能除去细菌和0.05微米的粒子。

超纯水设备工作原理在树脂交换过程中，树脂上可交换离子全部被交换完了，树脂就不再有交换水中离子作用，我们称这种现象为“失效”。我们把树脂再生后获得再生的工作交换容量与该树脂全部工作交换容量比值，这种情况我们称之为树脂再生度。

超纯水设备运行过程中再生剂，再生浓度，流量，温度以及工艺操作，反洗情况和吸流床树脂的再生度均会影响树脂再生度。我们通常根据树脂再生度来判断交换床再生情况。