系统曝光单元由主体加上十字线级,晶圆处理器,机器柜和十字线处理器组成,并在两个容器中运输。完整的双扫描系统包括曝光单元、和几个额外独立的单元。
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系统曝光单元由主体加上十字线级,晶圆处理器,机器柜和十字线处理器组成,并在两个容器中运输
系统曝光单元由主体加上十字线级,晶圆处理器,机器柜和十字线处理器组成,并在两个容器中运输。完整的双扫描系统包括曝光单元、和几个额外独立的单元。
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