一、罗茨真空泵工作原理

罗茨真空泵(以下简称罗茨泵)是通过一对相互作用同步反向旋转的“8" 字形转子实现抽气功能的。当转子和泵体形成吸气腔时,两个转子相互之间始终保持密封,从而确保排气口的气体不返流到进气口,以此实现抽气的功能。
转子的反向同步旋转是通过一对安装在转子轴上的齿轮实现的。由于在泵腔里面没有摩 擦,罗茨泵能以每秒1500~ 3000转的高速运转而无须在泵腔内进行润滑, 外,要保持罗 茨泵在高转速下平稳运行, 要对转子进行良好的动平衡。高速旋转的转子间、转子和泵体间没有任何直接的接触,各运动部件之间均保持-定的间隙。
罗茨泵在进排气口间设置了-内置溢流阀其作用是:当进排气口的压差达到一定值时， 溢流阀就自动打开, 排气口的部分气体通过打开的溢流阀返流到进气口,这就大大降低了高磋下罗茨泵和前级真空泵(以下简称前级泵)的运行负荷。同时因为打开的溢流阀有强大的泄流作用,可以确保罗茨泵和前级泵可以同时启动而不会使罗茨泵和前级泵过载,并可以提高入口压力下罗茨泵机组的抽速。

二、罗茨真空泵主要用途

罗茨泵被广泛地应用于真空获得的各个方面,它延伸了油封机械真空泵在较低入口压力下的工作范围,有小体积大抽速的特点,在1~100pa入口压仂范围内具有大抽速,特别适合于低入口压励下需要大抽速的真空系统中使用,例如电力变压器、电电电容器电力互感器的真空干燥、空浸渍处理、空热处理、空冶炼的排气真空镀膜设备的预抽,大型试验风洞的抽气吸照明灯生产线的排气等等。

三、罗茨真空泵主要技术性能指标（见下表）