六甲基二硅胺烷
外文名 HEXAMETHYLDISILAZANE
分 子 式 (CH3)3SiNHSi(CH3)3
分 子 量
性 状 无色透明液体 略带胺味
别 名 双(三甲基硅)胺烷
密度(25℃)g/cm3:— 折光率():±
六甲基二硅氮烷含量(%):≥ 六甲基二硅氧烷含量(%):≤
三甲基硅醇含量%:≤ 闪点:27℃
沸点:126℃ 色度:≤10
用 途:特种有机合成。、、、氟及各种衍生物等合成过程中的甲硅烷基化。硅藻土、白炭黑、钛等粉末的表面处理。半导体工业中光致刻蚀剂的粘结助剂。
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