六甲基二硅胺烷

外文名 HEXAMETHYLDISILAZANE

分 子 式 (CH3)3SiNHSi(CH3)3

分 子 量

性　状 无色透明液体 略带胺味

别 名 双（三甲基硅）胺烷

密度(25℃)g/cm3：— 折光率()：±

六甲基二硅氮烷含量(%)：≥ 六甲基二硅氧烷含量(%)：≤

三甲基硅醇含量%：≤ 闪点：27℃

沸点：126℃ 色度：≤10

用　途：特种有机合成。、、、氟及各种衍生物等合成过程中的甲硅烷基化。硅藻土、白炭黑、钛等粉末的表面处理。半导体工业中光致刻蚀剂的粘结助剂。

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