产品介绍

SRT-300台式电阻热蒸发PVD系统，采用涡轮分子泵真空组件在高真空环境沉积薄膜。配备三组蒸发舟及精密沉积控制系统，非常适合科研实验或新材料研发使用，适用于快速多层金属或合金沉积工艺。

产品展示

内部展示

主要配置

主要功能配置：
全量程真空计。
三组独立热蒸发舟，不会导致镀材互相污染。
两套用于多层薄膜蒸发沉积的直流电源。
可选配Co蒸发可沉积合金膜（可选）
石英晶体监测系统用于实时厚度测量（1 nm精度）
7.5"触摸屏可控制沉积过程和快速数据输入
用户友好PLC软件系统，可以通过网络更新
配备旋转样品架（可选）
2英寸500°C基板加热器（可选）