v 功能特点
ü 本底真空5E-10Torr
ü 配置REHEED系统
ü 4轴加热样品台,可旋转、XYZ方向均可移动
ü 手动或自动LoadLock上下片系统
ü 抽气流量控制
ü 全金属泄漏阀
ü 激光加热器
v 生长材料
异质结构金属氧化物(如Fe/SrTiO3、Nb/SrTiO3、BiFeO3等)、高温超导材料、硅氧化物、高K氧化物、金属氮化物、铁电材料等
北京时代天启真空科技有限公司
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v功能特点ü本底真空5E-10Torrü配置REHEED系统ü4轴加热样品台
v 功能特点
ü 本底真空5E-10Torr
ü 配置REHEED系统
ü 4轴加热样品台,可旋转、XYZ方向均可移动
ü 手动或自动LoadLock上下片系统
ü 抽气流量控制
ü 全金属泄漏阀
ü 激光加热器
v 生长材料
异质结构金属氧化物(如Fe/SrTiO3、Nb/SrTiO3、BiFeO3等)、高温超导材料、硅氧化物、高K氧化物、金属氮化物、铁电材料等
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