适用范围
适用于8"及以下的半自动晶圆高精度定位测试需求。
产品特点
• 高精度光栅尺闭环控制系统。
• 可配置光屏蔽罩。
• 运行稳定，结构开放，方便维护。
• 较好的通用性，开放的接口。
• 低漏电、低噪声。
• 可定制单芯片拼板测试功能。
配件
北京华钛技术有限公司
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适用范围适用于8"及以下的半自动晶圆高精度定位测试需求
适用范围
适用于8"及以下的半自动晶圆高精度定位测试需求。
产品特点
• 高精度光栅尺闭环控制系统。
• 可配置光屏蔽罩。
• 运行稳定，结构开放，方便维护。
• 较好的通用性，开放的接口。
• 低漏电、低噪声。
• 可定制单芯片拼板测试功能。
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