主要用于半导体及液晶制造工序检测使用的药液、纯水等的液面或漏液、晶元匹配用光纤单元或LED等微小部品的落下检测用光纤单元等特定用途的光学式传感器系列。
主要用于检测半导体・液晶制造时的露光、洗净、热处理工序所使用的药液、纯水等的液面、漏液，采用独自的光学系实现了稳定检测、省空间，支持失效保护。 晶元匹配时使用的狭光光纤单元、LED等微小部品的落下检测用光纤单元采用适合用途的光学设计及筐体设计，使高检测性能与省空间得到了统一，减少了调整工时，也提高了维护性。
| 外貌 | 模型 | 特征 | 标准 |
|---|---|---|---|
 | HPF-T032/T034 型管装液位光纤单元 | 通过对罐中液位的上限和下限使用两种不同的传感方法，可以进行故障安全检测。 | - |
 | 带独立放大器的管道安装式液位开关 HPQ-T_ | 只需将开关安装在管道上，即可轻松检测液体表面。 |   |
 | 接触式液位光纤单元 HPF-D027/D033 | 全树脂结构确保无金属污染。 | |
 | 带独立放大器的液体检漏仪 HPQ-D_ | 自带放大器，无需吸液纸，适用于各种液体。 酸或碱性液体、IPA（异丙醇）、纯水、Fluorinert、Galden 等。 |   * 有关产品详细信息，请联系我们的销售代表或阿自倍尔经销商。 |
 | 带有独立放大器 型号 HPQ-DP的液体泄漏检测器 | 自带放大器，无需吸水纸，适用于各种液体。 纯水、工业用水、Fluorinert、Galden等 | |
 | 漏液光纤单元 HPF-D040 | PFA 护套提供出色的布线便利性。 因为电缆是光纤，所以可以在防爆环境中使用。 | - |
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