压力不敏感质量流量模块
这种的压力不敏感质量流量模块安装有压差检测和压电执行器阀。
CRITERION D500 提供的高水平性能确保它可用于一系列的半导体制造工艺;压力不敏感,多范围/多气体/多压力,G-LIFE(集成限流器方程的气体定律检查)自诊断功能,高精度,快速响应,范围广,全金属。
特征
压力不敏感性
能 新的高性能压力不敏感功能提供了简化的供气系统多量程、多气体、多压力解决方案
新功能允许用户更改气体类型、满量程流量和供应压力范围G-LIFE(集成流量限制器方程的气体定律检查)自诊断功能
的过程健康监测功能允许操作员进行自己的测试,通常在三秒或更短的时间内提高吞吐量高精度
通过的三维调整提高了工艺气体的流量精度快速响应
响应:<0.8秒
可实现精确、稳定的流量控制动态范围
宽控制范围:0.2% FS 至 99% FS
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