CVD系统由供气系统+管式炉+抽气系统 ，温度可以达到1200度、1400度、1600度、1700度，加热区间可以是单温区、双温区、三温区等，极限真空可以达到10-3Pa，供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计，混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。 

OTL-CVD-1200-1200CVD系统是由3路供气系统+TL1200-S管式炉+真空系统组成 OTL-CVD-1200-1200CVD系统以进口电阻丝瑞典（Canthal）为加热元件，采用双层壳体结构和日本岛电控温仪表，能进行40段程序控温，移相触发、可控硅控制，炉膛采用氧化铝多晶纤维材料，具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点，是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的理想产品。

(3)、电阻均衡、温场均衡性好

(4)、加热元件：瑞典Kanthal  A1 进口电阻丝 （电阻丝可承诺保修2年）

当电路过流或漏电时，空开会自动断开

该炉配有通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升  温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出真空度。

（2）、采用成型。

（3）、炉膛里电阻丝的间距和节距全部按日本的热工技术布置、经过热工软件模拟温场

（4）、采用4周加热，温场更加均衡

  

（全部通过UL认证的进口电器）

 

 

 

采用宇电程序控温仪表（标配）