产品介绍
YAMATO等离子装置，13.56MHz 高频输出的等离子清洗机，搭载 RIE·DP 双模式。
使用等离子的表面处理装置。着重于“使用简单”的台式高性能型号，调取数据简单，以电子材料为中心，可对应多种用途。
特征：
- 可变更电极构造提高等离子效果。
- 搭载高精度适配器，高性能RF 电源。
- 可根据需求规格提供定制。
用途：
- 硅晶圆的灰化及蚀刻
- 基板表面污垢处理
- IC/LED封装、BGA/CSP基板处理
- 半导体相关部品的电子材料的干式清洗
- 自然氧化膜·有机物去除
- 界面活性处理
- 表面污染物去除
技术参数：
型号 | V1000 | V1000X | V1000XS |
等离子模式 | DP/RIE | ||
高频电源 | 13.56MHz | ||
输出功率 | Max1000W | Max1000 & 1500W | |
有效电极尺寸 | W280×D280mm | W300×D300mm | W400×D375mm |
电极 | 平行平板 | 2段电极（独立） | 平板（多目的） |
反应气体 | 聚合控制器2系统（填充气路另行安装） | ||
真空泵（标配） | 约1000L/min | 约1500L/min | 1000 & 1500L/min |
安全装置 | 门检测开关、联锁机构、紧急停止开关、温度过升防止器等 | ||
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PDC600小型、多段式等离子清洗机。
用途：
- 提高各种材料的粘接性、表面改质处理
- 灰化、蚀刻处理
- 塑料封装前处理
- 印刷基板镀层前处理
- LED关联部品处理
- 电子部品清洗
- 光刻胶剥离或表面残留物去除
- 光学、金属、机械部品等精密部件的清洗
- 包含氟化树脂的树脂类产品表面改质
- FCC对应
特征：
- YAMATO等离子装置，600W的小型高输出功率
- 电极可选择1·2·3段（采购时选）
- 可处理纵型的试料收纳盒
- 可选择RIE/DP模式（采购时选）
- 数据记录器（选配）
- 适配点记忆功能（选配）
技术参数：
型号 | PDC610 |
等离子模式 | RIE/DP（固定模式） |
电极构造 | 3段独立平行平板（固定） |
高频输出 | Max600W |
频率 | 13.56MHz |
控制·显示方式 | PLC·触摸屏 |
反应腔尺寸 | W350×D270×H300mm |
反应腔材质 | A5052 |
反应气体 | 2系统（Ar、O2） |
填充气体 | N2或干燥空气 |
真空泵 | 油泵（约345L/分）·标配 |
外形尺寸 | W600×D722×H700mm |
外装材质 | 不锈钢 |
电源 | 3 相 AC200 50/60Hz 15A |
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