适用标准:
GB/T 8980-1996《高纯氮》
GB/T 14599-93 《高纯氧》
GB/T 4844.3-1995 《高纯氦》
GB/T 4842-2006《高纯氩》
GB/T 7445-1995 《纯氢、高纯氢、超纯氢》
GB/T 17873-1999《纯氖》
国标中规定的各种气体的纯度指标：
气体种类项目指标
优等品一等品合格品
高纯氮氮气纯度0-2（V/V） ≥99.999699.999399.999
氧含量,10-6（V/V） ≤1.02.03.0
氢含量,10-6（V/V） ≤0.51.01.0
CO、CO2、CH4总含量,10-6（V/V）≤1.02.03.0
高纯氩氩纯度, 10-2（V/V） ≥99.999699.999399.999
氮含量,10-6（V/V） ≤245
氢含量,10-6（V/V） ≤0.511
总碳含量（以甲烷计）10-6（V/V） ≤0.512
高纯氦氦气纯度, 10-2（V/V） ≥99.999699.999399.999
氢含量,10-6（V/V） ≤0.10.51
氧（氩）含量10-6（V/V） ≤0.511
氮含量,10-6（V/V） ≤112
一氧化碳含量,10-6（V/V） ≤0.10.20.5
二氧化碳含量,10-6（V/V） ≤0.20.20.5
甲烷含量,10-6（V/V） ≤0.10.20.5
高纯氢氢纯度, 10-2（V/V） ≥99.999
氧（氩）含量10-6（V/V） ≤1
氮含量,10-6（V/V） ≤5
一氧化碳含量,10-6（V/V） ≤1
二氧化碳含量,10-6（V/V） ≤1
甲烷含量,10-6（V/V） ≤1
超纯氢氢纯度, 10-2（V/V） ≥99.9999
氧（氩）含量10-6（V/V） ≤0.2
氮含量,10-6（V/V） ≤0.4
一氧化碳含量,10-6（V/V） ≤0.1
二氧化碳含量,10-6（V/V） ≤0.1
甲烷含量,10-6（V/V） ≤0.2
高纯氧氧纯度, 10-2（V/V） ≥99.99999.99899.995
氩含量,10-6（V/V） ≤2510
氮含量,10-6（V/V） ≤51020
二氧化碳含量,10-6（V/V） ≤0.511
总碳含量（以甲烷计）10-6（V/V） ≤0.512

GB/T 5829-1995《氪气》
GB/T 5828-1995《氙气》
HG/T 3633-1999《纯甲烷》
GB/T 10621-2006《食品添加剂液体二氧化碳》
GB/T 16942-1997《电子工业用气体 氢》
GB/T 16943-1997《电子工业用气体 氦》
GB/T 16944-1997《电子工业用气体 氮》
GB/T 16945-1997《电子工业用气体 氩》
GB/T 14604-93《电子工业用气体 氧》
GB/T 14600-93《电子工业用气体 氧化氩氮》
GB/T 14601-93《电子工业用气体 高纯氨》
GB/T 14602-93《电子工业用气体 》
GB/T 14603-93
GB/T 18994-2003《电子工业用气体 高纯氯》
GB/T 14851-93《电子工业用气体 》
GB/T 17874-1999《电子工业用气体 三氯化硼》
GB/T 15909-1995《电子工业用气体 硅烷》