日本三丰Mitutoyo FS70 半导体检测显微镜,半导体观测显微镜 ,工作距离足够长，倍数高，能够应用在各种检测场合和质量确认方面。搭配Mitutoyo的全系列可见光远场校正镜头，显微镜系统的放大倍率可涵盖20X到8000X，工作距离范围从6到34mm。对焦目镜可安装直径为25mm的测量分划板来测量。50/50三端输出显微镜的粗调范围为50mm，精确调整分辨率可达0.1mm，并可同时进行视频输出和双目观测。
FS70系列半导体检测显微镜单元是一款带目镜观察的小巧显微镜单元。适于检测金属表面、半导体、液晶基板、树脂等。可应用于切割、修整、校正、 给半导体电路做标记/ 薄膜(绝缘膜) 清洁与加工、液晶彩色滤光器的修复(校正错误)。还可用作光学观察剖面图以便探针分析半导体故障。
特点
● 采用Mitutoyo远场校正镜头
● 三端输出设计可轻松接收视频
● 转盘可接zui多四个物镜
应用：
切割、修整、校正、 给半导体电路做标记
薄膜(绝缘膜) 清洁与加工、液晶彩色滤光器的修复(校正错误)。
还可用作光学观察剖面图以便探针分析半导体故障。
• 可用于红外光学系统*。
应用：晶体硅的内部观察；红外光谱特征分析。
* 需要红外光源和红外摄像机。
• 支持BF (亮视场)、DF (暗视场)、偏振光及微分干涉对比(DIC) 的型号(产品) 可用。
• 带有孔径光阑的柯勒照明是表面照明光学系统上的标准配件。
• 内倾转塔和超长工作距离的物镜确保了显微镜下的高可操作性。
技术参数
| 型号 | FS70 | FS70-TH | FS70Z | FS70Z-TH | FS70L | FS70L-TH | FS70L4 | FS70L4-TH |
| 型号 | FS70S | FS70-THS | FS70ZS | FS70Z-THS | FS70LS | FS70L-THS | FS70L4S | FS70L4-THS |
| 聚焦调节 | 使用同心粗调(3.8mm/rev)和微调(0.1mm/rev)对焦轮(右/左)实现50mm行程范围 | |||||||
| 图像 | 正像 | |||||||
| 物镜筒镜 | 西登托夫型, 调节范围: 51 - 76mm | |||||||
| 视场数 | 24mm | |||||||
| 俯角 | - | 0°-20° | - | 0°-20° | - | 0°-20° | - | 0°-20° |
| 透过率 | 固定(目 镜/TV＝ 50%/50%) | 可调型(目 镜/管径＝ 99%/0%： 0%/99%) | 固定(目 镜/TV＝ 50%/50%) | 可调型(目镜/管径＝99%/0%：0%/99%) | ||||
| 防护滤光片 | - | 内置激光滤光片 | ||||||
| 管径镜头 | 1x | 1x-2x放大 | 1x | |||||
| 适用激光 | - | 1064/532/355nm | 532/266nm | |||||
| 相机安装端口 | C-mount (适用适配器B选件) | 使用带TV接口的激光 | C-mount开关 (带绿色滤光片转换开关) | |||||
| 照明系统(选件) | 亮视场反射照明 (科勒照明、带孔径光阑) 12V100W亮视场反射照明、无亮度调节、光纤长度 | |||||||
| 物镜 （用于观察） | M Plan Apo, M Plan Apo SL, G Plan Apo | |||||||
| 物镜（用于激光切割） | - | M/LCD Plan NIR, M/LCD Plan NUV | M Plan UV | |||||
| 载重 | 14.5kg | 13.6kg | 14.1kg | 13.2kg | 14.2kg | 13.5kg | 13.9kg | 13.1kg |
| 重量（主机） | 6.1kg | 7.1kg | 6.6kg | 7.5kg | 6.4kg | 7.2kg | 6.7kg | 7.5kg |
| 灯泡更换 | 标准: 卤素灯泡 (12V, 100W) (517181) | |||||||
| 用于光纤传导照明装置 (12V, 100W) (378-700) | ||||||||
注：镜体的载重不包括物镜镜头和目镜的重量。
| Mitutoyo FS70 Inspection Microscope | |
| Microscope System | |
| Mitutoyo FS70 Microscope System (includes #55-999, #56-000, #56-001, #56-002) | #56-003 |
| Microscope Head (One Required) | |
| Mitutoyo FS70 Microscope Head | #55-999 |
| Microscope Stａnd (One Required) | |
| Mitutoyo FS70 Microscope Stand | #56-000 |
| Microscope Eyepieces in Pairs (One Required) | |
| 10X WF Focusing Eyepieces, 24mm Field Dia. | #56-001 |
| 15X WF Focusing Eyepieces, 16mm Field Dia. | #56-310 |
| 20X WF Focusing Eyepieces, 12mm Field Dia. | #56-004 |
| Microscope Turret (One Required) | |
| Manual 4 Position Turret for Mitutoyo FS70 | #56-002 |
| Motorized 4 Position Turret for Mitutoyo FS70 | #56-313 |
| Microscope Stage (Optional) | |
| 2" x 2" XY-Axes Positioning Stage | #56-011 |
| Accessories and Reticles (Optional) | |
| Fiber Optic Light Guide for FS70, 72" Length | #56-008 |
| Polarizer Set | #56-009 |
| C-Mount Coupler (1X) for Video Adaptation | #56-010 |
| 90° Crossline, Reticle | #56-005 |
| Concentric Circles Reticle, 1.2 - 18mm Dia, 1.2mm Increments | #56-007 |
| 20mm Line/0.1mm Divisions, Reticle | #56-183 |
| 5mm Line/0.05mm Divisions, Reticle | #56-184 |
| 90°/60° Crossline, Reticle | #56-311 |
| Stock No. | Objective | WD (mm) | Resolving Power (μm) | 10X Eyepiece #56-001 | 15X Eyepiece #56-310 | 20X Eyepiece #56-004 | |||
| Mag. | FOV (mm) | Mag. | FOV (mm) | Mag. | FOV (mm) | ||||
| #58-235 | M Plan Apo 1X | 11 | 11 | 10-20X | 24-12 | 15-30X | 16-8 | 20-40X | 12-6 |
| #46-142 | M Plan Apo 2X | 34 | 5 | 20-40X | 12-6 | 30-60X | 8-4 | 40-80X | 6-3 |
| #46-143 | M Plan Apo 5X | 34 | 2 | 50-100X | 4.8-2.4 | 75-150X | 3.2-1.6 | 100-200X | 2.4-1.2 |
| #66-383 | M Plan Apo 7.5X | 35 | 1.3 | 75-150X | 3.2-1.6 | 112.5-225X | 2.13-1.07 | 150-300X | 1.6-0.8 |
| #46-144 | M Plan Apo 10X | 33.5 | 1 | 100-200X | 2.4-1.2 | 150-300X | 1.6-0.8 | 200-400X | 1.2-0.6 |
| #46-145 | M Plan Apo 20X | 20 | 0.7 | 200-400X | 1.2-0.6 | 300-600X | 0.8-0.4 | 400-800X | 0.6-0.3 |
| #46-146 | M Plan Apo 50X | 13 | 0.5 | 500-1000X | 0.48-0.24 | 750-1500X | 0.32-0.16 | 1000-2000X | 0.24-0.12 |
| #46-147 | M Plan Apo 100X | 6 | 0.4 | 1000-2000X | 0.24-0.12 | 1500-3000X | 0.16-0.08 | 2000-4000X | 0.12-0.06 |
| #46-398 | M Plan Apo 20X SL | 30.5 | 1 | 200-400X | 1.2-0.6 | 300-600X | 0.8-0.4 | 400-800X | 0.6-0.3 |
| #46-399 | M Plan Apo 50X SL | 20.5 | 0.7 | 500-1000X | 0.48-0.24 | 750-1500X | 0.32-0.16 | 1000-2000X | 0.24-0.12 |
| #46-401 | M Plan Apo 100X SL | 13 | 0.5 | 1000-2000X | 0.24-0.12 | 1500-3000X | 0.16-0.08 | 2000-4000X | 0.12-0.06 |
| #34-247 | M Plan Apo 5X HR | 25.5 | 1.3 | 50-100X | 4.8-2.4 | 75-150X | 3.2-1.6 | 100-200X | 2.4-1.2 |
| #58-236 | M Plan Apo 10X HR | 15 | 0.6 | 100-200X | 2.4-1.2 | 150-300X | 1.6-0.8 | 200-400X | 1.2-0.6 |
| #58-237 | M Plan Apo 50X HR | 5.2 | 0.3 | 500-1000X | 0.48-0.24 | 750-1500X | 0.32-0.16 | 1000-2000X | 0.24-0.12 |
| #58-238 | M Plan Apo 100X HR | 1.3 | 0.3 | 1000-2000X | 0.24-0.12 | 1500-3000X | 0.16-0.08 | 2000-4000X | 0.12-0.06 |
更新时间：2023/5/24 17:35:35
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