RT-250Z430-GE-CHIYODA-electric千代田电子冷热精密恒温箱RT-250Z430-GE-魅力琥珀（深圳）科技有限公司

在半导体制造中进行的薄膜沉积工艺中，需要以微米为单位进行成膜。
温度控制也是控制要沉积的扩散气体的蒸气压的重要项目。
我们的电子冷热恒温槽实现了百分之一的温度控制，在气相沉积工艺上有很多成就。
此外，它在需要精细温度控制的应用中也很有效，例如在物理、化学和制药领域。

主要特点

-罐内液体温度通过电子冷却方式控制在-10.00～70.00℃范围内。
・高分辨率温度显示 0.01 ℃ (1/100 ℃)
・通过的液体循环方式实现了高温稳定性 (± 0.02 ℃)。
・内部开发的高精度温度控制器。
-水箱和控制单元是分开的。
适合并入各种设备。
-通讯功能 RS-232C / RS-485（可选）除了
温度设定和运行状态监控外，还可以远程操作运行/停止。
便于使用包含多个单元的 CVD 设备进行集中操作。

【主要规格】

控制方式	水冷式电子散热方式（Pelche 方式）
设定温度范围	-10.00-70.00℃
温度指示/设定分辨率	0.01℃
温度稳定性1	±0.02℃
以上条件	环境温度 23 ℃ 环境湿度 55% RH 冷却水温度 25 ℃ 液体介质 GALDEN HT200 2 罐内无热负荷。
通讯功能（可选）	RS-232C/RS-485 运行监控、温度设置以及运行/停止均可远程操作。
工作环境温度	5～35℃
冷却水温度	18～30℃（标准：25℃）
冷却水流量	2.5-5.0L/min（根据设定温度可调）
电源供应	单相 AC200V 4A 50 / 60Hz
可用液体介质	氟系介质防冻液等蒸馏水
多种保护功能	自诊断功能异常/报警输出（继电器输出）
水族箱内尺寸 (mm)	Ø250×430H（液位400H）有效容积：20.0L
水箱外形尺寸（mm）	321W x 321D x 580H（不包括突出部分）
控制单元外形尺寸 (mm)	260W x 362D x 147H（不包括突出部分）