INFICON薄膜沉积监测仪IMM-100
特征
INFICON ModeLock 技术提供最长的晶体寿命,并确保、分辨率和可用的厚度测量,即使在非常低的速率下
通过的 QCM 厚度测量限度地提高产量
单通道速率和厚度监测器,没有不必要的附加功能,以限度地降低成本
±0.0035 Hz 超过 100 ms 样本
用于无缝集成的 EtherCAT 通信
紧凑的尺寸通过节省工具空间来限度地降低集成成本
专家应用支持,能够讨论的应用需求并提供比竞争对手更大的支持
符合 RoHS
典型应用
OLED应用
仟渔 |
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