2.离子泵在真空状态下运输
3.具有宽广的抽速范围(从 0.2 l/s 至 1000 l/s)
4.可提供多种泵体配置
5.联锁的真空密封穿导件连接方便,并可避免腐蚀和限度缩小泵的总体尺寸
6.三种不同的抽气单元可抽除所有可能的气体混合物
7.专用陶瓷绝缘子可延长泵的寿命
| StarCell® | 改进型二极离子泵 | 二级泵 |
氮气名义抽速 (*) (L/s) | 410 | 440 | 500 |
在 1 x 10-6 mbar 压力下的工作寿命(小时) | 80,000 | 50,000 | 50,000 |
启动压力 (mbar) | ≤ 1x10-2 | ≤ 1x10-3 | |
极限真空 | 低于 10-11 | ||
抽气口法兰 | 8 英寸 CFF (NW 150) AISI 304 ESR | ||
max烘烤温度 (℃) | 350 | ||
重量,kg(磅) | 120 (264) |
(*)根据ISO/DIS3556-1-1992测试
抽速与进气口压力关系
外形图
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