对于洁净室的尘源，除了来自室外大气的尘粒和进入洁净室的人和物携带的灰尘之外，洁净室内的发尘源主要来自于洁净室内操作人员，洁净室的围护和洁净室内生产工艺设备和生产过程的产尘。
1、洁净室内作业人员的产尘。作业人员的产尘与所穿的洁净工作服的材料、型式、着装情况和作业人员本身的动作有关。因此，洁净室内的作业人员必须穿规定的工作服而且动作也要受到一定的限制。
通常情况下，一般电子装配工艺穿全身型洁净工作服轻微动作时，人员的产尘量为3.5 ~ 5.0×10⁵个/人·分（≥0.5µm）。是洁净室内的zui主要的发尘源。
2、洁净室围护和室内表面的产尘。随着洁净室装修材料的发展，耐磨、抗静电、少产尘的材料出现，洁净室内建筑产尘量越来越小。一般认为洁净室单位建筑面积产尘为3 ~ 5.0×10⁴ /m²·分（≥0.5µm）。可见10平方米建筑产尘只相当一个作业人员的产尘量。
3、生产设备和生产过程的产尘：这一产尘量与设备和生产过程本身有直接关系。不同设备、不同生产工艺的产尘量差别极大。在日本的资料介绍，一台电动机的产尘量大约为4.5 ~ 45×10⁴个/台·分（≥0.5µm）。