1、风量平衡的影响因素
洁净室的风量平衡是洁净室维持正压值和洁净度的保证。洁净室出现风量不平衡的主要因素有：
（1）初、中、高效过滤器随着使用时间的增加，阻力也会增加，造成送风量减少，室内正压值发生变化。
（2）生产工艺发生变化，排风量增加或减少造成洁净室内正压制的减少或增加。
（3）随着洁净室投入使用时间的增加，围护结构和门窗出现漏风现象，造成洁净室内正压值发生变化。
（4）管理不善，人员和设备的出入口、门或气闸室关闭不严，造成洁净室内正压发生变化。
（5）送风机皮带松动或转速降低造成送风量不足。
（6）个别FFU的风机或电机发生故障，停止运行造成循环风量不足。
2、解决风量不平衡的措施
（1）设计选用过滤器风量时选用过滤器额定风量的75%～80%，随着过滤器阻力的增加，逐步加大送风阀门的开度，直到过滤器达到终阻力时更换过滤器。
（2）空调箱的送风机或FFU的送风机采用变频电机，初运行时将送风机或FFU的电机运行频率调低，随着运行时间的增加，过滤器阻力也增加时，逐步调高电机频率以保证达到设计送风量。
（3）当工艺排风量发生变化时，调整系统的新风量，必须把新风系统设计成变风量系统以求得排风和新风达到平衡，否则当工艺发生变化时排风量不能增加或减少。
（4）加强洁净空调系统的运行管理，提高管理人员的素质，严密的管理制度。
（5）洁净室应配备压差测试仪器，当正压值发生变化时及时报警，采取相应措施保证洁净室的正压值。