1、振动仪
振动仪主要是用于测定洁净室地基的振动，一般灵敏度较高，量程较小，多数属于微米级。振动仪的主要参数是振幅和频率。
2、气体浓度测试仪
气体浓度测试仪是一个大类，不同的气体有不同的测试仪器，同一种气体也有不同的测试仪器，不同的浓度往往需要不同的测试仪器，所以只能具体问题具体分析。概括的讲，气体浓度测试方法分为两大类：
一类是使用直读仪器，也就是使用能直接读出气体浓度数值的仪器。这种仪器一般是由化学传感器和数字显示系统组成，现场检测，直接读出气体浓度。这种仪器的特点是使用方便、速度快，但往往灵敏度不高，寿命较短。
另一类是采样后用仪器分析，也就是先用采样器采取气体样品，带回实验室后用仪器进行分析，获得气体浓度的数据。采样的方式分为两大类：一类是直接采取被检测的气体；另一类是将需要检测的气体吸收到用化学试剂配制的液体中，有时吸收液还要经过一系列的化学处理，才能送入仪器中分析。此类测试方法的特点是操作比较麻烦，速度较慢，但一般灵敏度较高、可靠性较强。
3、气溶胶发生器
气溶胶发生器实际上是一种能向气体中发散颗粒物的设备。洁净行业习惯将含有颗粒物的气体称为气溶胶，所以将向气体中发散颗粒物的设备称为气溶胶发生器。如果发散颗粒物是标准的则称为“标准颗粒发雾器”。能够制造标准颗粒，并且直接将标准颗粒发散到超净气体中的设备称为“标准颗粒发生器”。
4、静电测试仪
静电测试仪有许多种类，例如静电电压计、高阻电阻计、充电板监测仪等。
5、显微镜
显微镜是检测颗粒尺度直观的仪器，所以标准颗粒尽量使用显微镜进行标定。显微镜的种类繁多，比较可靠的是光学显微镜和电子显微镜。
（1）光学显微镜
光学显微镜有三大类：一类是生物显微镜。其特点是光线透过样品成像，可以理解为是透射式光学显微镜。主要应用于生物、医学行业，所以称为生物显微镜。二类是金相显微镜，特点是使用样品的反射光成像，可以理解为是反射式光学显微镜。主要应用于冶金、机械行业，所以称为金相显微镜。三类是岩相显微镜，特点是使用偏振光成像，可以理解为是偏振光学显微镜。主要应用于岩石、矿物行业，所以称为岩相显微镜。
光学显微镜的优点是：放大倍数稳定，操作比较简单；缺点是：放大倍数、分辨力都不高，不能用于测定小的颗粒。光学显微镜一般只能看到不小于0.5um的颗粒，能够检测不小于5um的直径。对于小颗粒需要使用电子显微镜。
（2）电子显微镜
电子显微镜就是使用电子成像的显微镜。电子显微镜有许多种类，其中常用和比较成熟的有两大类：透射电子显微镜和扫描电子显微镜。
1）透射电子显微镜。透射电子显微镜的成像原理类似于生物显微镜，只是用电子代替了可见光，用电磁透镜代替了玻璃透镜。透射电子显微镜可以将物体放大上百万倍，可以看到小于1nm的物体，用于测量颗粒物绰绰有余。用显微镜测量物体的尺度，需要有长度标准器具，长度标准器具的形状和分度需要稳定。然而透射电子显微镜是使用电子透过样品成像，电子的穿透能力很差，即使是10万伏电压加速的电子，也不能穿透100nm厚的物体。厚度小于100nm的物体非常柔嫩，即使是钢铁或矿石，也会像塑料薄膜那样随风漂浮，其形状和尺度都不稳定。因此，直到现在还没有合理合法可供透射电子显微镜使用的长度标准器具，所以还不具备用透射电子显微镜测量标准颗粒尺度的充分条件。
2）扫描电子显微镜。扫描电子显微镜有点像金相显微镜，成像电子不穿过样品。扫描电子显微镜是用高能电子照射样品，激发样品发射二次电子，利用二次电子成像。由于二次电子的能量较小，运动的速度较慢，不能像金相显微镜或透射电子显微镜那样聚焦成像，只能通过逐点扫描，点点对应成像。扫描电子显微镜的放大倍数和分辨力虽然没有透射电子显微镜高，但是也能放大几十万倍，可以看到几个纳米的物体，用于测量大于10nm的颗粒物是可行的。更重要的是：扫描电子显微镜可以观察很厚的样品，容易制造长度标准器具。已有合理合法的供扫描电子显微镜使用的长度标准器具。