华测仪器 高低温真空探针台

产品简介：

华测仪器高低温真空探针台是一种辅助执行机构，测试人员把需要量测的器件放到探针台载物台(chuck)上，在显微镜配合下，X-Y移动器件，找到需要探测的位置，接下来通过旋转探针座上的X-Y-Z的三向旋钮，控制前部探针(射频或直流探针)扎到被测点，从而使其讯号线与外部测试机导通，即可得到所需要的电性能参数。

产品优势包含以下几点：

1.真空-温度协同控制

真空系统：分子泵+涡旋泵多级抽气，能够支持设备在30分钟内实现10^-6 torr级真空度和惰性气体氛围切换；

2.液氮制冷与电极加热复合控温，帮助设备实现超宽温域调节，控温稳定性可达±0.1K。

3.真空障蔽腔体抗干扰设计能够大幅降低电磁噪声，支持皮安级微弱电流与微欧级电阻测量；

4.设备标配4探针臂（可扩展至6探针臂），支持四线法、射频探针以及光电协同测试，满足多样化测试需求。

产品技术参数：

材质：不锈钢/碳钢

平面度：0.05mm/m2

粗糙度：＜0.8μm

孔距：25×25mm

孔径：M6

平台尺寸（长宽）：可定制

平台厚度：50/100/200mm

支撑腿数量：4只/6只

支撑腿高度：800mm±10mm

其他：内芯采用蜂窝支撑、表面密迪纹处理、支撑脚可选脚轮、特殊尺寸可定制

产品应用领域广泛，主要覆盖以下三大场景：

1. 研发阶段：材料与器件的性能探索

在新型半导体材料（如钙钛矿、氧化镓）的研发中，晶圆测试高低温真空探针台可实时监测材料在真空、高温或低温条件下的载流子迁移率、击穿电压等参数，为材料优化提供数据支撑。

2. 失效分析：准确定位失效根源

设备通过微区探针扫描技术，配合SEM或FIB联用，可对芯片的短路、漏电等故障点进行定位，快速锁定制造工艺中的失效环节。

3. 量产前验证：提升良率与可靠性

在晶圆出厂前，晶圆测试高低温真空探针台可对成千上万个微结构进行自动化批量测试（如接触电阻、绝缘性能），结合AI算法实时分析数据，提前筛除次品，降低下游封测成本。