放气对真空系统的影响

放气

气体从材料中自然地解吸现象称为放气。在真空中放气的主要来源是：

1．熔炼和铸造过程中，空气中的氢、氧、氮和碳的氧化物会不同程度的熔于材料中。

2．材料在大气环境中存放时，表面会吸附大量气体，主要是水蒸气、氧、氮和碳的氧化物等。

3．材料表面的污染物。

4．材料本身的非致密性引起的气体渗透。

真空零部件的表面污染物有以下类型：

1．油脂，即加工、安装、操作时沾染上的润滑剂、真空油脂等。

2．水滴，操作时的手汗、人的哈气等。

3．表面氧化物，易氧化材料长期放置在空气（特别是潮湿空气）中所形成的表面氧化物。

4．酸、碱、盐类物质，清洗时的残余物质、手汗、自来水中矿物质等。

5．空中的尘埃和其他有机物。

放气的影响

对一般真空设备来说，材料放气是真空系统最主要的气源，其主要影响如下：

1．影响真空室的极限压力和工作压力。

2．有些放气会污染系统，如污染质谱检漏仪的质谱分析室。

3．在真空机组停止抽气后，造成真空室压力升高。

4．影响真空泵的性能和寿命。

减少放气影响的措施

为使真空系统在较短的抽气时间内达到工作压力，应尽可能减少放气的影响，为此可采取如下措施：

1．选用放气速率低的材料制做真空系统的零部件。不锈钢、铝、玻璃是高真空、超高真空中用的材料。

2．采用喷砂、机械抛光、电化学抛光等表面处理措施，减少材料放气面积和清除污染物。

3．采用三氯乙烯、、丙酮、汽油、等有机溶剂或碱液等化学清洗方法，以及电化学清洗、超声波清洗方法清除污染物。

4．系统抽气时，采用烘烤方法加速材料放气。

5．操作时尽可能注意缩短真空系统暴露大气的时间。

6．真空系统停止运转时，应在真空状态下保存。