涡轮分子泵

涡轮分子泵是利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子，使气体产生定向流动而抽气的真空泵。涡轮分子泵启动快，能抗各种射线的照射，无气体存储和解吸效应，无油蒸气污染或污染很少，能获得清洁的超高真空。其结构复杂、对轴承耐磨程度要求高、制造成本高。该泵的工作压力范围为1~10^-8Pa，抽气速率一般在5000L/s以下，泵的转速为10000~50000r/min。该泵主要用作高真空泵和超高真空泵，但不能直接对大气排气，需要配置前级泵。泵的主要性能（如极限压力和抽速）与配置的前级泵的容量、泵的转数、被抽气体的种类有关。分子泵对较轻的气体抽速较大，对氢的抽速比空气的抽速大20%。

涡轮分子泵与其他高真空泵和超高真空泵相比较具有以下优点：

1．极限压力低，的泵可以获得10—⁹Pa的极限压力。

2．工作压力范围宽，在9个数量级的压力范围内具有稳定的抽速。

3．结构紧凑，由置于泵体内的中频电动机直接驱动，涡轮转子为整体式结构

4．是一种少油泵，它既不像其他机械泵那样用油作工作液，也不用油来密封，只是其转子仍然用油来润滑，可能有少量润滑油会进入被抽系统。

5．泵的振动小，噪声低，工作平稳，启动时间短，一般在4～15min内能达到满抽速。

6．对大分子量的气体有较高的压缩比，且中频电动机置于前级空间，能获得清洁的高真空和超高真空，另外利用对氦压缩比低的特点，可在逆扩散型的氦质谱检漏仪中做主泵使用。