v 功能特点
ü 本底真空:2E-10torr
ü 4个UHV超高真空阴极
ü 系统可烘烤
ü 共溅或顺序溅射系统
ü 4轴加热样品台,可旋转、XYZ方向均可移动
ü SiC加热器,加热温度850℃以上
ü 多腔体真空互联
ü 手动或自动LoadLock上下片系统
v 沉积材料
ü Nb、Ti、Al、NbTi等低温超导材料
ü Fe、Co、Ni及合金磁性等材料
北京时代天启真空科技有限公司
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v功能特点ü本底真空:2E-10torrü4个UHV超高真空阴极ü系统可烘烤ü共溅或顺序溅射系统ü4轴加热样品台
v 功能特点
ü 本底真空:2E-10torr
ü 4个UHV超高真空阴极
ü 系统可烘烤
ü 共溅或顺序溅射系统
ü 4轴加热样品台,可旋转、XYZ方向均可移动
ü SiC加热器,加热温度850℃以上
ü 多腔体真空互联
ü 手动或自动LoadLock上下片系统
v 沉积材料
ü Nb、Ti、Al、NbTi等低温超导材料
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