GSL-1700X-HVC是一款CE认证的二通道高真空CVD系统,它是由二路质子混气系统和高真空机组组成,其工作温度可达1600℃,极限真空度可达 to 10^-5 torr。混气系统可以对两种气体进行精确的混气,然后导入到管式炉内部。
性能指标和基本配置 | ||
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GSL-1700X 系列管式炉 | 炉体结构 | ● 采用双层壳体结构,并带有风冷,使得壳体表面的温度 < 55°C. |
炉管 | ● 材质: 高纯氧化铝陶瓷管 | |
功率 | 6KW | |
工作电压 | AC 208-240V单相, 50/60Hz | |
加热元件 | 8 根1800°C grade MoSi2 heating element | |
工作温度 | ● 工作温度.: 1650°C | |
升温速率 | ≤5°C/min | |
温控系统 | ● 采用PID方式自动控制,并可设置30段升降温程序 | |
真空法兰 | ● 一对不锈钢真空密封法兰已经安装 | |
外形尺寸 | 550 x 380 x 520mm | |
高真空机组 | 功率 | 100~110W |
工作电压 | AC 208-240V单相, 50/60Hz | |
外形尺寸 | 600(L) x 600(W) x 700(H), mm | |
壳体 | ● 壳体尺寸: 600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm ● 承载量: 600 Lbs on top ● 分子泵控制面板: LCD 数字显示 ● 内装有一 Pfeiffer vacuum pump made in Germany | |
控制面板 | ● 一键操作:按下"start" 键后,隔膜泵和涡轮分子泵将会启动(隔膜泵先启动等真空度达到10-2mbar后,分子泵自动启动) | |
抽气速率 | ● N2 33 L/s ● He 39 L/s (2340L/minute) ● H2 32 L/s | |
工作范围 | 1000 mbar to <1E-7 mbar | |
极限 | <1E-8 mbar (without any leaking ) | |
质量流量控制器 | 壳体 | ●采用 316不锈钢制作 |
功率 | 18W | |
工作电压 | AC 208-240V, 单相, 50/60Hz | |
质量认证 | 所有电器元件(>24V)都通过UL / MET / CSA认证/ CE认证,若客户出认证费用,本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证 | |
保修期 | 一年保修,终身技术支持。 特别提示: 1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 点击查看售后服务承诺书。 |
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