OTF-1200X-S25-II-SL是一款小型双温区管式炉CVD系统。它由带快速链接法兰的小型双温区滑轨炉、质子流量控制器、真空泵三部分组成。双温区滑轨炉可移动并可实现快速升降温;触屏式三路质子流量器,能够精确控制系统的供气;真空泵可实现对管式炉快速抽真空。
性能指标和基本配置 | ||
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OTF-1200X-S25-II -SL管式炉 | 炉体结构 | ● 采用双层壳体并带有风冷系统,使其炉体表面温度都小于55℃ |
炉管尺寸 | Φ25×1000mm | |
功率 | 1.2kW | |
输入电压 | 220VAC 单相 50/60Hz | |
加热元件 | Cr27Al7MO2(掺钼铁铬铝合金) | |
温度 | 1200℃额定温度1100℃ | |
升温速率 | ≦10℃/min(推荐) | |
加热区长度 | ● 两个加热区的长度都是100mm | |
控温精度 | ±1℃ | |
快速连接法兰 | ● KF25不锈钢真空法兰 | |
真空系统(多种真空系统可选请点击这里) | 壳体尺寸 | 600 (L) x 600 (W) x 700(H)mm |
承载量 | 1000 Lbs | |
抽气速率 | ● 3L/S | |
电压 | AC220V/50Hz单相 | |
功率 | 23W | |
应用注意事项 | ●炉管内气压不可高于0.02MPa ●由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全 ●当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 ●石英管的长时间使用温度<1100℃ ●对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等) | |
质量认证 | 所有电器元件(>24V)都通过UL / MET / CSA认证/ CE认证,若客户出认证费用,本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证 | |
保修期 | 一年保修,终身技术支持。 特别提示: 1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 点击查看售后服务承诺书。 |
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